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光学表面轮廓仪

光学表面轮廓仪

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系统简介

光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。 可以测量各种材料的面形,提供各种参数,包括表面结构,面形和台阶高度等等的2D3D 图形。与探针式接触式轮廓仪相比,由于采用非接触式的测量系统,没有耗材,不会引起待测件的损伤。

IMOS nanoprofilometer光学表面轮廓仪设计结构紧凑,具有两种测量模式,可定量测量微米尺度和纳米尺度表面形貌轮廓。具有测量速度快,测量精度高,性价比高的特点。


系统特点

测量各种材料的面形,包括平坦度,粗糙度,面形和台阶高度等

测量精度高,Z方向精度可打30pm

测量速度快,几秒钟内可捕捉超过两百万数据点。

与同类产品相比较(包括探针式接触式轮廓仪)具有高性价比,

结构紧凑,抗振隔振。

非接触式的测量系统,没有耗材,不会引起待测件的损伤。

操作简便,易于维护

支持大面积拼接测量


系统参数

测量面积

0.4X0.3mm2

横向精度

1µm

纵向精度

30pm (Nanorelief模式)

0.3µm (Microrelief模式)

测量范围

20µm  (Nanorelief模式)

50mm (Microrelief模式)


测试实例

 



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